采购品目:A033499其他专用仪器仪表
预计采购时间:2022-11
购置1台。 1.金属源接口4套,有机源接口10套,烘烤照明接口2套以及水冷膜厚探头接口4套; 2.温控电源5台(温控表显示精度0.1℃),温度区间:室温-500℃(控温精度±1℃); 3.四通道膜厚控制仪1套; 极限真空:优于6×10-5Pa,关机12小时真空度≤10Pa
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