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【政府采购意向】8寸光刻机

2022-12-13 16:42:51
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
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招标单位：
东南大学
招标年份：
2022 年
所属地区：
江苏省南京市
招标类型：
产品招标
采购方式：
公开招标
项目概况：

采购品目：A033499其他专用仪器仪表

预计采购时间：2022-11

项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】8寸光刻机
预算金额：600 万元
采购需求：

购置1台。 1.最大晶圆尺寸： 8英寸，并且向下兼容各类不同尺寸及不规则小片； 2.曝光光源：曝光光源支持 365nm、 405nm、 435nm； 3.分辨率：优于0.8 um； 套刻精度：正面套刻精度±0.5um；背面套刻精度：±1um；

提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-11-30 00:00
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