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【政府采购意向】旋涂-烘烤一体机

2022-12-13 16:52:31
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
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招标单位：
东南大学
招标年份：
2022 年
所属地区：
江苏省南京市
招标类型：
产品招标
采购方式：
公开招标
项目概况：

采购品目：A033499其他专用仪器仪表

预计采购时间：2022-11

项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】旋涂-烘烤一体机
预算金额：115 万元
采购需求：

购置1套。 1.最大支持12寸晶圆 2.旋转速度：0 –6000rpm，转速调节精度1rpm，加速度在0.6s内达到6000rpm 3.涂胶均匀性小于±4% 4.热板最大支持12寸晶圆，最高温度250°C 温度精度: +/- 0.8°C@100°C.

提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-11-30 00:00
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