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南京大学
教育部
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【政府采购意向】快速退火炉
招标单位：
招标年份：
所属地区：
招标类型：
采购方式：
项目概况：
采购品目：A02330300 电子工业生产设备
预计采购时间：2022-11
项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】快速退火炉
预算金额：340 万元
采购需求：
采购快速退火炉两台，参数性能满足：不低于6英寸晶圆，最高温度不低于1200度，温度差异低于±2度，温度均匀性0.5%，升温速率100度/秒，6-8寸样品台，配机械泵抽真空，气体Ar，N2，O2；服务要求：可提供技术支持和售后服务，设备质保期12个月。
提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-11-30 00:00
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