【政府采购意向】步进式光刻机
            
                
                    2022-12-21 16:55:17
                    
                        云上高博会
                        https://heec.cahe.edu.cn
                    
                 
                
             
                            
                    招标单位:
                
                
                    清华大学
                
            
                            
                    招标年份:
                
                
                    2022 年
                
            
                            
                    所属地区:
                
                
                    北京北京市
                
            
                            
                    招标类型:
                
                
                    产品招标
                
            
                            
                    采购方式:
                
                
                    公开招标
                
            
                        
                    项目概况:
                
                
                    采购品目:A032103电子工业专用生产设备
预计采购时间:2022-11
                
            
                
                    项目基本情况:
                
            
                            
                    项目名称:【政府采购意向】步进式光刻机
                
            
                            
                    预算金额:3000 万元
                
                        
                            
                    采购需求:
拟采购步进式光刻机1套,把投影掩模版上的图形与涂胶硅片进行对准,而后从一点到另一点逐场曝光,8”及以下,分辨率0.28um,套刻35nm。其他要求:质保期至少1年。售后服务响应不超过24小时(不区分工作日和节假日)。
                 
            
            
                        
            
            
            
                        
            
                        
                提交投标文件截止时间、开标时间和地点:
            
            
                            
                    截止时间:2022-11-30 00:00